这时,许振鸣慢慢的蹲下身子,目光落在光刻机主体系统🛋🚸的接驳机构处。他的意思很明确,就是这个接驳机构出了💱🕭问题。
“想🗫想也是,我觉得应该是两台设备的接驳组装机构出了故障。”郝宁教授朝许振鸣这边看了过来,说出自己的猜想。
“不可能!我们🃙😍⛳这台光刻机的接驳机构是用集团公司最先进的加工中心制造的,加工精度🀽能保证。”万宁古一边说话,一边也跟着半蹲了下来🌢。
这时候,梁宋松有点懵懵的。出于自信,他随口就否定了万宁古的判断,“怎么不可能?我们集团公司的机械制造水平要比米国佬差了两代左右,加工精度怎么能保障?依我看,就是这台光刻机主体系统的接驳机构有问题🗍🚒。”
“咱们不能随便乱说,要用实验数据来说话。”万宁古不认输,用手指摸了摸主机系统的接驳机构,感受⛕一下接驳机构的加工面。
这组🗫接驳机构的加工面非常光滑,曲线📨🝙度、光滑度通过目测应该找不出故障。
所以,许振鸣根本没准备用手指去体验这种异型的接驳机构。他观察了一下,然后侧过脸来问万宁古:“老万,咱们可不可以用分开的模式来做光刻试验?”
万宁古闻言摇摇头,“光刻机是精密设备,两套系统一定要组装在一起工作才行。🆐🎫否则,光刻流🕩🌒片🔊⚡💽的精度无法保障。”
按照他的意思,🃙😍⛳土办法是解决不了📳目前的测试困境,这事有点难办了🕆。