带着这🚔📄种疑问，万宁古陪着许🐵🄊🟄振鸣来到光刻机主机系统检测🎧调试工作站的旁边，两眼一直盯着工作站的监视器屏幕。
时间不久，他担心的事情出现了……
当这台光刻机🀠♸🍋主机系统完成一次模拟光刻执行程序以后💸，监视器显示的各项数据都很正常，精🅗度误差都在许可的范围之内。
“报告许董，主机系统重复精度小于0.001毫米，💸数据正常💴🖄🐅。🙅”
“报告万总，主机系统的🚓💺🖾震动量误差都在🌦🁗量级以内，不💸会对光刻程序造成影响。”
“报告万总，主机系统的功率输出一直都非常稳定🜚🂩👛，模拟光刻过程中没有出现波动现象。”
“这台设备👻🎆🎱的电磁😤🃚杂波强度都在量级要求范围之内，没有出现异常情🄝⚌况。”
“……”
技术员们非常专注，每📼出现一个数据就会把情况如实🛍🛊汇报。
通过他们一番比对下来，这台光刻机主体系统的数据和原始测试数据没🞥🖔发生变化。这事有点蹊跷了！
另一边，郝宁教授的团队已经完成了激光光源的能🜚🂩👛量测试流程，一切也正常。
不但如此，他们已经🅕🆞完成了第一遍激🀚☻🄢光光源的光谱测试，激光在空气中的散光度误差很小，在正⛅常范围之内。
由此看来，米国佬的这台激光光源系统没有质量问题，性能非常稳定🄝⚌。
看到这一幕，梁宋松也有点傻眼了，“两套系统单体测试都很正常，组装总🏚🚨成以后出现质量缺陷。这是什么鬼情况？”
“这…这事有点邪门啊！”万宁古此时也有点懵，两🛍🛊手一摊，看着许振鸣苦笑，并且直摇头。
今天中午饭的时候，他得到梁宋松的提醒，灵感咋现，其实已经初步判断出这台光刻机的🃴🛼⚃故障所在。按照他的设想，米国产的激光光路系统肯定没问题，国产的光刻机主体系统肯定有问题。
但现⚥在一番检测下来，这🚓💺🖾两台设备的情况都很正常，问题到底在哪里？
“两台设备单体都正常，组👺🍶装🐵🄊🟄在一起就不正常。在组装的时候，我们做过哪些改动程序？”